ポジ型感光性組成物

Positive photosensitive composition

Abstract

【課題】バーニング不要で湿度が25〜60%の条件で塗布して必要十分な密着性が得られ、低いアルカリ強度で現像が可能であり、高感度が保たれ残渣が生じない現像ができて、シャープな輪郭で切れ、レジスト膜が非常に硬くて現像前の取り扱いにおける耐傷性が向上するポジ型感光性組成物を提供する。 【解決手段】(A)分子中に少なくとも1つのカルボキシル基を有する高分子物質、(B)画像露光光源の赤外線を吸収して熱に変換する光熱変換物質、及び特定の樹脂、を必須成分として含有するようにした。 【選択図】図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positive photosensitive composition which requires no burning, makes it possible to obtain necessary and sufficient adhesion when it is applied under a humidity of 2-60%, can be developed at a low alkali intensity, makes it possible to carry out development with keeping high sensitivity while forming no residue, ensures sharp edges, can provide a very hard resist film, and is improved in scratch resistance in the handling before development. <P>SOLUTION: The positive photosensitive composition comprises, as essential components, (A) a high molecular substance having at least one carboxyl group in a molecule, (B) a photo-thermal conversion material that absorbs infrared rays from an image exposure light source to convert them into heat, and a specific resin. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

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